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北方華創集成電路PVD設備安裝量超過100腔室

北方華創PVD設備在集成電路主流生產線安裝量超過100腔室。這是北方華創在集成電路領域市場化道路上的里程碑式的跨越,是國產高端PVD設備在集成電路領域的全面突破。

PVD設備是集成電路制造制程核心的薄膜工藝設備。北方華創是國內集成電路PVD設備生產廠商,擁有磁控濺射源設計、等離子產生與控制等多項核心技術,并擁有自主知識產權。北方華創率先推出的TiN Hardmask PVD系統、Al Pad PVD系統等產品,已經應用于28nm及14nm工藝制程。其中,TiN Hardmask PVD系統已成為28nm大生產線中首臺國產Baseline機臺。TiN Hardmask PVD以優異的工藝表現獲得國際主流客戶的青睞。Al PadPVD系統,也順利打入國際供應鏈體系,實現了在邏輯、存儲和新型顯示等多個領域的應用。

除了在集成度電路領域應用外,北方華創PVD設備技術也延伸應用于先進封裝和半導體照明等領域。從2012年首臺設備進入產線應用開始,至今已完成超過320個工藝腔室的銷售安裝,累計量產超過800萬片。

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